Development and application of high-end aerospace MEMS

Abstract

This paper introduces the design and manufacturing technology of aerospace microelectromechanical systems (MEMS) characterized by high performance, multi-variety, and small batch. Moreover, several kinds of special MEMS devices with high precision, high reliability, and environmental adaptability, as well as their typical applications in the fields of aeronautics and aerospace, are presented.

Keywords

MEMS / design and manufacture technology / aeronautic and aerospace

References

[1] Chang H, Yuan  W. Pan-structured MEMS Integrated Design Method. Xi’an: Northwestern Polytechnical University Press, 2010 (in Chinese)

[2] Yuan W, Chang  H, Li W , . Application of an optimization methodology for multidisciplinary system design of microgyroscopes. Microsystem Technologies, 2006, 12(4): 315–323

[3] Xu J, Yuan  W, Chang H , . Angularly parameterized macromodel extraction for unconstrained microstructures. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2008, 18(11): 115034

[4] Qiao D, Chen  X, Ren Y , . A micro nuclear battery based on SiC Schottky barrier diode. Journal of Microelectromechanical Systems, 2011, 20(3): 685–690

[5] Yuan W, Chang  H, Li W , . Application of an optimization methodology for multidisciplinary system design of microgyroscopes. Microsystem Technologies, 2006, 12(4): 315–323

[6] Yu Y, Yuan  W, Qiao D . Electromechanical characterization of a new micro programmable blazed grating by laser Doppler vibrometry. Microsystem Technologies, 2009, 15(6): 853–858

[7] Chang H, Xie  J, Fu Q , . Micromachined inertial measurement unit fabricated by a SOI process with selective roughening under structures. Micro & Nano Letters, 2011, 6(7): 486–489

[8] Ma B, Ren  J, Deng J , . Flexible thermal sensor array on PI film substrate for underwater applications. In: Proceedings of the 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). IEEE, 2010, 679–682 

[9] Lv H, Jiang  C, Xiang Z , . Design of a micro floating element shear stress sensor. Flow Measurement and Instrumentation, 2013, 30: 66–74

[10] Ren S, Yuan  W, Qiao D , . A micromachined pressure sensor with integrated resonator operating at atmospheric pressure. Sensors, 2013, 13(12): 17006–17024

[11] Wang S, Ma  B, Deng J , . Fabrication and characterization of MEMS piezoelectric synthetic jet actuators with bulk-micromachined PZT thick film. Microsystem Technologies, 2015, 21(5): 1053–1059 

[12] Xia C, Qiao  D, Zeng Q , . The squeeze-film air damping of circular and elliptical micro-torsion mirrors. Microfluidics and Nanofluidics, 2015, 19(3): 585–593

[13] Ma B, Ma  C. A MEMS surface fence for wall shear stress measurement with high sensitivity. Microsystem Technologies, 2016, 22(2): 239–246

RIGHTS & PERMISSIONS

Higher Education Press and Springer-Verlag Berlin Heidelberg