硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究

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中国工程科学 ›› 2000, Vol. 2 ›› Issue (1) : 7-17.
专题报告

硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究

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Behavior of Impurities, Defects and Surface Morphology for Silicon and Silicon Based Semiconducting Materials

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