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工程（英文）

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微机电系统

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研究论文

基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器

高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东

Engineering. 2023, 21 (2) : 61-74. https://doi.org/10.1016/j.eng.2022.06.018

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研究论文

基于LiNbO₃/SiO₂/SiC异质结构实现44 GHz超高频声表面波谐振器

周剑, 张定红, 刘炀辉, 卓凤玲, 钱莉荣, 李红浪, 傅永庆, 段辉高

Engineering. 2023, 20 (1) : 112-119. https://doi.org/10.1016/j.eng.2022.05.003

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